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吳江潔凈工作臺定制可以將溫度和濕度控制在適當(dāng)?shù)姆秶鷥?nèi),那么吳江潔凈工作臺定制合適的濕度是多少?
吳江潔凈工作臺定制的濕度主要是根據(jù)工藝要求確定的,但在滿足工藝要求的前提下,應(yīng)考慮到人的舒適度。隨著空氣潔凈度要求的提高,對溫度和濕度的要求也越來越高。吳江潔凈工作臺定制具體工藝對溫度的要求將在后面列出,但作為一般原則,隨著加工精度的越來越細(xì),對溫度波動范圍的要求也越來越小。
在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光過程中,玻璃和硅晶片作為掩模材料的熱膨脹系數(shù)之間的差異越來越小。100μm直徑的硅,溫度上升1度,導(dǎo)致0.24m的線性膨脹,因此必須有0.1度的恒溫,并且濕度一般較低,因?yàn)槌龊购螅a(chǎn)品會受到污染,特別是半導(dǎo)體車間擔(dān)心鈉。這種車間的溫度不應(yīng)超過25度,濕度過高。
吳江潔凈工作臺定制發(fā)現(xiàn)當(dāng)相對濕度超過55%時,冷卻水管的壁將被暴露。如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。
此外,吳江潔凈工作臺定制認(rèn)為當(dāng)濕度太高時,很難通過空氣中的水分子去除硅表面上吸附的化學(xué)物。相對濕度越高,去除粘附性越困難,但當(dāng)相對濕度低于30%時,由于靜電的影響,顆粒容易吸附在表面上,大量的半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。吳江潔凈工作臺定制生產(chǎn)的濕度范圍為35~45%。
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